气压传感器

前言

本传感器是一款采用高灵敏度薄膜热敏电阻的导热式气压传感器,通过检测大气压力差所致导热率差异来检测气压。
导热式气压传感器在使用环境氛围的导热率与大气压不同时会出现输出变化,输出信号会针对测量环境的气压显示直线性,可测量0.15Pa的真空状态至100kPa的大气压、以及加压350kPa后的空气压力。
使用热敏电阻的导热式传感器对温湿度具有依赖性,所以在实际的电路设计时还需在考虑其特性的同时进行温度补正及湿度补正。

气压传感器外观(参考形状)

特点

使用高灵敏度和高响应性的薄膜热敏电阻(1005M t=0.1mm)
(通过薄膜热敏电阻的高精度匹配实现高精度)
·将加热温度设置在50℃以下(大气压环境)实现低消耗功率
·可连续测量、持续监控气压

测量电路(真空用)

气压传感器的特性范例

・气压传感器 压力检测的输出特性范例

压力和输出电压关系图

可执行大范围的气压测量。

 

・气压传感器 输出特性的温度依赖性

气压传感器的温度特性图

气压传感器的输出对温度具有依赖性。

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