医疗

先进医疗传感器的超小型化和高精度化

产品课题

随着医疗器械的发展,使用导管进行高级医疗的治疗也随之发展。与此同时,导管用超小型、高精度热敏电阻的需求增加,但作为陶瓷半导体的热敏电阻难以通过传统制造方法同时实现小型化和高精度。

为解决课题开展的工作

为了解决这个难题,SEMITEC充分利用了世界上第一个成功量产的独特的 薄膜热敏电阻技术,开发了超小型和高精度的“Fμ系列”薄膜热敏电阻。由此实现了直径为0.5 mm或更小的热敏电阻温度传感器,可用于导管等先进医疗应用,并用于热稀释导管,其通过温度变化测量心输出量。
此外,通过将薄膜热敏电阻的制造工艺扩展到 MEMS 技术,并将其与在导管用热敏电阻中培养的微细加工技术融合,不仅温度传感器,我们还挑战了先进医疗设备用传感器的开发,我们正在开发超小型压力传感器“Pμ传感器”和3D接触力传感器“CF传感器”并努力实现产品化。

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